系统一/二：主要为千级区域，采用上送侧回的空调方式，选用两台恒温恒湿水冷柜式空调机(JK-1和JK-2)，分别放置两个千级空调机房，共用一套冷却水系统，冷却塔和冷却水泵放置五楼屋顶；系统三：主要为FFU区域，彩钢板隔墙围护到顶，地面做高架地板，采用FFU送风，采用一台水冷洁净式恒温恒湿空调机JK-3，满足洁净室的空调冷负荷和空调风量；
图纸包含：设计说明、工艺设备布置平面图、净化级别区域划分图、空调设备、FFU平面图、回风、新风管平面布置图、净化空调系统图一、水系统原理图(一)等。
，其包含的内容比较齐全，内容详实，可供设计师下载参考。
