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高效过滤器PAO检漏

现场安装完毕以后对高效过滤器进行检漏是检查高效过滤器及配套的静压箱是否有泄漏或泄漏是否在规范允许的范围之内。如果高效过滤器装置经检漏是合格的，可以确保洁净室的安全可靠的运行，此时室内洁净度仍未达标，应从洁净室的其它方面查找原因。

上传人：上传时间：2015-05-13 17:23:54 文档格式：zip 收藏数：0 页数： 9 评论数： 0 分类标签：暖通

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高效过滤器PAO检漏-图一

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