洁净室技术的各个组成部分机器相互关系 首先，必须进行设计并建造出洁净室。为此，必须考虑： （1）应采用什么设计标准； （2）做何种设计平面布置图、使用何种建筑材料； （3）如何向洁净室提供各种设施。 其次，洁净室已安装好并工作时，必须测试其是否符合设计规定。应在洁净室的寿命期中继续对其进行监测，以确保其仍然达到规定的设计要求。 最后，洁净室必须正确运行，这样所制造的产品才不至于受到污染。这就要求从人员与材料的入场，到服装的选择、洁净室的规定、洁净室的清洁都必须正确地予以实施。
洁净室技术的发展-图一
洁净室技术的发展-图二
洁净室技术的发展-图三
洁净室技术的发展-图四
洁净室技术的发展-图五
内容简介 工程面积：工程总面积约955m2,其中百级间526m2,万级间293m2。 百级净化间与万级净化间制冷系统均为FFU洁净单元+干盘管制冷+恒温恒湿新风系统。百级满布FFU，断面风速0.2~0.5m/s，万级均布FFU，设计换气次数≥25次/H。 组合风柜、板式换热器冷源由甲方已有的冷冻水系统提供。 百级与万级洁净室空气净化方案均采用FFU洁净单元循环送回风。新风在新风组合风柜进行初效过滤、热湿处理、中高效过滤后分两路分别送入百级与万级洁净室顶部天花夹层，天花做环氧树脂防尘处理。新风与回风混合后由FFU洁净单元送入洁净室内。送风动力由FFU风机提供。
