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国际标准ISO 14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。 ISO 14644在洁净室及相关受控环境 的总标题下,由下述各部分组成: 第1部分:空气洁净度等级划分 第2部分:为认证与ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求 第3部分:计量和测试方法 第4部分:设计、施工和启动 第5部分:运行 第6部分:术语和定义 第7部分:增强的洁净装置
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