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ISO14644由下列各部分组成,但具有“洁净室和相关受控环境”的总标题。 ——第1部分:空气洁净度等级划分 ——第2部分:为认证ISO14644-1相符性用的测试和监控技术要求 ——第3部分:计量和测试方法 ——第4部分:设计、建造和投产 ——第5部分:运行 ——第6部分:术语和定义 ——第7部分:增强型洁净装置
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