上传于:2023-10-10 14:09:37
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此稿件为湖南某洁净厂房净化系统中特殊气体供应系统竣工图纸;该厂房为硅基薄膜太阳能电池生产线。  设计内容:大宗气体PH2供应系统;特殊气体B2H6(2%)H2,CH4,NF3,PH3(0.5%)H2,TMB(2%)H2,CO2,SiH4等的供应系统;以及化学系统DEZ供应系统。    氢气管道系统:氢气输送管道采用主管分配VMB设计原则,管道选择依最大流量设计流速小于10M/S;从氢气...

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