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西门子多晶硅生产工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。经过改良后的西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法,是当前世界主流的生产方法,通过该方法制备的多晶硅的纯度能够长期保持高水平,生产和储备过程安全性好,沉积速率较高,可达10~16um/min,一次通过的转换效率也相对较高,达到5%~20%,三氯氢硅还原时一般不生成硅粉,有利于连续...
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