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      工程资料库 \ 晶圆喷胶机管路排布和电气原理图

      晶圆喷胶机管路排布和电气原理图

      上传于：2023-10-24 09:20:51
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      5分

      喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备，同时对厚胶涂覆和节省光刻胶有着非常明显的优势。雾化喷头将光刻胶雾化成雾滴，溅到衬底或晶圆表面，热板加热将光刻胶溶剂蒸发，使得有用的树脂留在衬底或晶圆表面，形成相对均匀的光刻胶覆盖。雾化喷头在衬底或晶圆上方做运动，以保证每一处被均匀的被覆盖。当雾化喷头经过若干次S形扫描，衬底表面形成均匀的光刻胶覆盖。1.喷胶范围：12英寸（向下兼容）。2.喷胶厚...

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