上传于:2023-12-29 11:15:22
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摘要:近年来在半导体工业和液晶显示器制造等工艺中,对清洁真空环境的要求越来越高。如在半导体的等离子增强气相沉淀(PECVD)和反应离子刻蚀(RIE)工艺中,在液晶生产上使用的蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中,不但要求环境清洁,而且还需要抽除大量含有微小颗粒及粉尘的反应生成气体。这些问题都不是传统的有油泵所能解决的。本文的研究对象——螺杆式干式真空泵,抽气腔内无任何工作...

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