洁净室技术的发展

洁净室技术的各个组成部分机器相互关系 首先,必须进行设计并建造出洁净室。为此,必须考虑: (1)应采用什么设计标准; (2)做何种设计平面布置图、使用何种建筑材料; (3)如何向洁净室提供各种设施。 其次,洁净室已安装好并工作时,必须测试其是否符合设计规定。应在洁净室的寿命期中继续对其进行监测,以确保其仍然达到规定的设计要求。 最后,洁净室必须正确运行,这样所制造的产品才不至于受到污染。这就要求从人员与材料的入场,到服装的选择、洁净室的规定、洁净室的清洁都必须正确地予以实施。

上传人: 上传时间:2015-05-14 11:21:57 文档格式:rar 收藏数:0 页数: 7 评论数: 0 分类标签: 暖通
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洁净室技术的发展-图一

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