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據研究調查分析結果顯示[1-3],沸石吸附濃縮焚化系統處理揮發性有 機廢氣,其處理效率可穩定達到大於 90 %,且部分廠家應用時亦能達到 符合 VOC S 排放量小於 0.6 kg/hr,是現行揮發性有機廢氣(volatile organic compounds, VOC S )污染防制設備最能符合國內「半導體製造業空氣污染管
沸石濃縮轉輪焚化系統 操作績效自我評估管理制度-图一
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maoya1983 LV1
看了挺好,正好用到
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maoya1983 LV1
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