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包含上述区域的结构装饰、净化空调系统(含防排烟、空调机组)、配电系统设备、给排水系统、消防系统、自控系统、工艺管道系统(含氮气、压缩空气、真空、DI水、工艺排风)。根据净化规范要求进行施工。 洁净室采用全新风系统加干盘管系统,CR100级洁净室全部采用防静电环氧树脂地面和防静电铝合金通风地板,地板表面防静电接地电阻< 1*106Ω。
某净化车间施工组织方案.-图一
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