某硅晶片生产厂房净化空调设计

本资料为某硅晶片生产厂房净化空调设计,内容简介:结合某硅晶片厂房洁净室净化空调系统的实例,介绍了洁净室的净化空调设计原则、气流组织形式、空气处理过程。并对空调系统的自控问题进行了阐述和讨论。

上传人: 上传时间:2019-12-22 13:17:39 文档格式:pdf 收藏数:0 页数: 3 评论数: 0 分类标签: 暖通空调 / 建筑暖通 / 工业建筑
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某硅晶片生产厂房净化空调设计-图一

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某硅晶片生产厂房净化空调设计-图二

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某硅晶片生产厂房净化空调设计-图三

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