利用ANSYS软件采用顺序耦合法对静电驱动悬臂梁式微开关进行力电耦合分析,得出了微开关的动态响应特性,并指出了空气阻尼对器件性能的影响;在动态分析的基础上,详细分析了微开关结构参数和其动态临界电压的关系。分析结果表明:动态临界电压略低于静态临界电压,由于空气阻尼的存在和静电力的非线性,系统的振动频率相对于其固有频率向下发生漂移,这些动态特性与静态特性有明显的不同。
ANSYS软件应用之悬臂梁式微开关动态特性的分析-图一
ANSYS软件应用之悬臂梁式微开关动态特性的分析-图二
ANSYS软件应用之悬臂梁式微开关动态特性的分析-图三
ANSYS软件应用之悬臂梁式微开关动态特性的分析-图四