用ANSYS软件对暴露在空气中共面型GaAs光导开关进行了模拟仿真,根据其电场分布在X方向和y方向的剖面图可以看出:在GaAs表面、电极、空气隙3种介质的交界面是极易发生击穿的区域,特别在电极的拐角部位。对用空气和Si。N 介质包覆开关表面时的电流分布进行了模拟比较,给出了x‘fy向剖面图,结果表明:经si。Ni 薄膜保护的GaAs光导开关的耐压能力可提高2个数量级。对设计制作的3 mm间隙共面型GaAs光导开关进行了耐压试验研究,分别采用绝缘油、绝缘胶对光导开关进行了绝缘保护,并结合介质击穿理论对试验结果进行了分析。模拟和试验结果表明:适当的绝缘保护可以有效提高耐压特性,使绝缘强度达4 kV/mm。
ANSYS软件应用之共面型GaAs光导开关的击穿特性研究-图一
ANSYS软件应用之共面型GaAs光导开关的击穿特性研究-图二
ANSYS软件应用之共面型GaAs光导开关的击穿特性研究-图三
ANSYS软件应用之共面型GaAs光导开关的击穿特性研究-图四