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吸气材料是保障电真空或密封器件真空品质及理想工作环境的特殊功能材料,通过吸收残余活性气体或器件长期使用过程中释放出来的活性气体,避免真空品质随时间的下降,还能减小气体与精密元件反应导致的污染或功能丧失,减小活动部件振动阻尼,降低内腔热耗散等。吸气材料主要分为蒸散型和非蒸散型。蒸散型吸气材料通过采用高温蒸发或蒸散并沉积在真空器壁上的薄膜来吸收活性气体,又称扩散型或闪烧型,它通常以钡、锶、钙、镁及其合...
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