上传于:2023-11-01 09:16:38
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低温定位台高共振CPSHR1-S并联运动学,高刚度设计高内部共振,高达4kHz使用Cryo直线执行器进行粗运动具有独特功能的3种类型可供选择CPSHR1:紧凑,高共振,钛低温定位台高共振(CPSHR)是为在低温真空环境中使用而开发的XYZ定位台。并联运动会导致一个轻而刚性的平台,并具有很高的内部共振频率,从而使其对地板振动的敏感性降低(请阅读我们关于腔体稳定性测量...

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