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TURBOVACMAGW2800C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：-蚀刻；-溅射；-离子注入；-CVD；-光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象，选用带温度控制的扩展附件在MAG1500C、MAG2000C、MAG...
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TURBOVACMAG600P系列耐腐蚀磁悬浮分子泵，适用于从10-1mbar(0.75x10-1Torr)至10-10mbar(0.75x10-10Torr)的压强范围。对空气的抽速从300lxs-1(进气口法兰直径=100mm(3.94in.))至3200lxs-1(进气口法兰直径=320mm(12.6in.))不等。TURBOVACMAG600P...
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TURBOVACMAG400P系列耐腐蚀磁悬浮分子泵，适用于从10-1mbar(0.75x10-1Torr)至10-10mbar(0.75x10-10Torr)的压强范围。对空气的抽速从300lxs-1(进气口法兰直径=100mm(3.94in.))至3200lxs-1(进气口法兰直径=320mm(12.6in.))不等。TURBOVACMAG400...
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TURBOVACMAGW2200C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：-蚀刻；-溅射；-离子注入；-CVD；-光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象，选用带温度控制的扩展附件在MAG1500C、MAG2000C、MAG...
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TURBOVACMAG系列耐腐蚀磁悬浮分子泵，适用于从10-1mbar(0.75x10-1Torr)至10-10mbar(0.75x10-10Torr)的压强范围。对空气的抽速从300lxs-1(进气口法兰直径=100mm(3.94in.))至3200lxs-1(进气口法兰直径=320mm(12.6in.))不等。TURBOVACMAG泵最常用于半导体工业...
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TURBOVACMAGW3200C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：-蚀刻；-溅射；-离子注入；-CVD；-光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象，选用带温度控制的扩展附件在MAG1500C、MAG2000C、MAG...
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TURBOVACMAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的最新产品！它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。最新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合，保证了TURBOVACMAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。TURBOVACMAGiNTEGRA系列分子泵适合短节拍大气载的应...
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TURBOVACMAG700iP系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的最新产品！它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。最新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合，保证了TURBOVACMAG700iP系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。TURBOVACMAG700iP系列分子泵适合短节拍大气载的应用...
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TURBOVACMAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的最新产品！它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。最新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合，保证了TURBOVACMAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。TURBOVACMAGiNTEGRA系列分子泵适合短节拍大气载的应...
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该模型有两种接口：进气口分别为：DN160ISO-K和DN160CF。本参考模型中含有这两种接口的模型。TURBOVACMAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的最新产品！它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。最新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合，保证了TURBOVACMAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的...
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TURBOVACMAGiNTEGRAW300iP系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的最新产品！它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。最新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合，保证了TURBOVACMAGiNTEGRAW300iP系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。TURBOVACMAGiNTE...
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TURBOVACMAGiNTEGRAW1600/1700iP系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的最新产品！它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。最新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合，保证了TURBOVACMAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。TURBOVACMAGiNTEGRA...
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TURBOVACMAGiNTEGRAW1600/1700iPL系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的最新产品！它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。最新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合，保证了TURBOVACMAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。TURBOVACMAGiNTEGRA...
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TURBOVACMAG600iP系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的最新产品！它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。最新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合，保证了TURBOVACMAG600iP系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。TURBOVACMAG600iP系列分子泵适合短节拍大气载的应用，可...
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TURBOVACMAGiNTEGRAW1300iP系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的最新产品！它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。最新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合，保证了TURBOVACMAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。TURBOVACMAGiNTEGRAW13...
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该模型有两种接口：进气口分别为：DN200ISO-F和DN200CF。本参考模型中含有这两种接口的模型。TURBOVACMAGiNTEGRAW1300iPL系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的最新产品！它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。最新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合，保证了TURBOVACMAGiNTEGRA系列分子泵既保持...
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该模型采用旋转、拉伸、镜像和阵列等简单特征设计，由多个零部件装配组成的设备总成。DIP系列泵是为工业系统使用而开发的。优秀的真空性能与这种泵固有的机械耐用性相结合，使该类型扩散泵成为中高真空领域的可靠设备。该种泵在高真空范围内具有高抽速；可获得很低的极限压强；集成水冷帽可确保向真空室极低的返油率；集成的水冷前级真空挡板阀确保低油耗（即使在高气载下）；即便在减小加热功率下仍具有高前级背压；...
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本设备含有泵体、支座、电机座和旁通几个组件组成。莱宝罗茨泵不同版本泵不同部件组装而成。各个零部件，采用基本的拉伸、切除、旋转、扫描和阵列等基本画法。针对不同系列，不同的部件分别采用不同配置进行装配。本模型严格按照莱宝公司样本尺寸进行设计制作，方便直接应用于配套系统和设备的三维设计中。罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备。WA/WAU系列罗茨真空泵配有直接法兰安装空冷标准三相电机。RUVAC...
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该模型采用旋转、拉伸、镜像和阵列等简单特征设计。TRIVACT是新型双级油封式旋片真空泵，结构紧凑坚固，莱宝真空全新开发抽速为4m3/h-60m3/h抽速的真空泵，TRIVACT全系列真空泵及其各种附件特别为广泛的工业应用而设计。产品适用性强，新型防返油设计，双重保护，内部泵体采用无密封元件的组装，便于拆卸和重新装配，维修方便。D4T到D30T型号的所有泵还都配备了单相或三相电机。
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本设备含有泵体、支座、电机座和旁通几个组件组成。莱宝罗茨泵不同版本泵不同部件组装而成。各个零部件，采用基本的拉伸、切除、旋转、扫描和阵列等基本画法。针对不同系列，不同的部件分别采用不同配置进行装配。本模型严格按照莱宝公司样本尺寸进行设计制作，方便直接应用于配套系统和设备的三维设计中。罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备。WS/WSU系列泵配空冷密封式罐装电机。本型号泵供货为...
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TURBOVACSL80/SL80H/SL80C属于机械轴承涡轮分子泵，用于从10-1mbar(0.75x10-1Torr)至10-10mbar(0.75x10-10Torr)的压强范围。对空气的抽速从35lxs-1(进气口法兰直径=40mm(1.57in.))至1100lxs-1(进气口法兰直径=250mm(9.84in.))不等。该系列产品紧...
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该模型采用旋转、拉伸、镜像和阵列等简单特征设计，由多个零部件装配组成的设备总成。DIP系列泵是为工业系统使用而开发的。优秀的真空性能与这种泵固有的机械耐用性相结合，使该类型扩散泵成为中高真空领域的可靠设备。该种泵在高真空范围内具有高抽速；可获得很低的极限压强；集成水冷帽可确保向真空室极低的返油率；集成的水冷前级真空挡板阀确保低油耗（即使在高气载下）；即便在减小加热功率下仍具有高前级背压；...
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本模型严格按照莱宝公司样本尺寸进行设计制作，方便直接应用于配套系统和设备的三维设计中。罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备。WS/WSU系列泵配空冷密封式罐装电机。WAU/WSU/WHU系列罗茨泵配置集成式旁通系统。本型号泵供货为水平流产品。注：本资料部分参考莱宝公司样本。...
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SOGEVACSV1200泵属于油封旋片泵。泵油注入泵腔用于密封、润滑和冷却，泵油在油箱回收并过滤（若需要）。润滑系统在高进气口压强（最高1000mbar，绝对压强）下可持续运行，SOGEVACSV1200泵在大多数粗真空应用都可以使用（有些情况需要增加附件）。泵排放的工艺气体携带着油在油箱中进行初步分离，然后，再经过排气过滤器过滤，细油雾被过滤器截留。如此过滤的油被收集在油箱内，然...
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本设备含有泵体、支座、电机座和旁通几个组件组成。莱宝罗茨泵不同版本泵不同部件组装而成。各个零部件，采用基本的拉伸、切除、旋转、扫描和阵列等基本画法。针对不同系列，不同的部件分别采用不同配置进行装配。本模型严格按照莱宝公司样本尺寸进行设计制作，方便直接应用于配套系统和设备的三维设计中。罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备。WA/WAU系列罗茨真空泵配有直接法兰安装空冷标准三相电机。RU...
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该模型采用旋转、拉伸、镜像和阵列等简单特征设计，由多个零部件装配组成的设备总成。DIP系列泵是为工业系统使用而开发的。优秀的真空性能与这种泵固有的机械耐用性相结合，使该类型扩散泵成为中高真空领域的可靠设备。该种泵在高真空范围内具有高抽速；可获得很低的极限压强；集成水冷帽可确保向真空室极低的返油率；集成的水冷前级真空挡板阀确保低油耗（即使在高气载下）；即便在减小加热功率下仍具有高前级背压；...
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本模型严格按照莱宝公司样本尺寸进行设计制作，方便直接应用于配套系统和设备的三维设计中。罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备。WS/WSU系列泵配空冷密封式罐装电机。本型号泵供货为水平流产品。注：本资料部分参考莱宝公司样本。...
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SOGEVAC泵属于油封旋片泵。泵油注入泵腔用于密封、润滑和冷却，泵油在油箱回收并过滤（若需要）。润滑系统在高进气口压强（最高1000mbar，绝对压强）下可持续运行，SOGEVAC泵在大多数粗真空应用都可以使用（有些情况需要增加附件）。泵排放的工艺气体携带着油在油箱中进行初步分离，然后，再经过排气过滤器过滤，细油雾被过滤器截留。如此过滤的油被收集在油箱内，然后重新供应给泵。充分优化的分离系统，考...
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Leybold（莱宝）SOGEVACNEOD16-25单相-三相泵模型SOGEVACNEOD泵是双级油封旋转叶片泵。注入泵室的油用于密封，润滑和泵的冷却从泵的储油罐中回收并过滤。润滑系统可在高进气压力（最大1000mbarabs。）下连续运行，因此可以从大气压力到极限压力以多种方式使用泵。在排出的气体进入集成的排气过滤器之前，过程气体所携带的机油在油箱中被粗略地分离，在集成的...
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本设备含有泵体、支座、电机座和旁通几个组件组成。莱宝罗茨泵不同版本泵不同部件组装而成。各个零部件，采用基本的拉伸、切除、旋转、扫描和阵列等基本画法。针对不同系列，不同的部件分别采用不同配置进行装配。本模型严格按照莱宝公司样本尺寸进行设计制作，方便直接应用于配套系统和设备的三维设计中。罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备。WAU系列罗茨真空泵配有直接法兰安装空冷标准三相电机。RUVAC...
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该模型采用旋转、拉伸、镜像和阵列等简单特征设计，由多个零部件装配组成的设备总成。DIP系列泵是为工业系统使用而开发的。优秀的真空性能与这种泵固有的机械耐用性相结合，使该类型扩散泵成为中高真空领域的可靠设备。该种泵在高真空范围内具有高抽速；可获得很低的极限压强；集成水冷帽可确保向真空室极低的返油率；集成的水冷前级真空挡板阀确保低油耗（即使在高气载下）；即便在减小加热功率下仍具有高前级背压；...
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WH系列罗茨泵适用于所有对操作压强、节拍和系统正常运行等方面要求较高的应用。泵标配减震地脚；吸入法兰口配置了密封圈和死亡防污物阱；所需数量的润滑油单独瓶装并随泵发货。可在用户现场改垂直流为水平流（仅4400/7000系列）。本设备含有泵体、支座、电机座和旁通几个组件组成。莱宝罗茨泵不同版本泵不同部件组装而成。各个零部件，采用基本的拉伸、切除、旋转、扫描和阵列等基本画法。针对不同系列，不...
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DIVAC干式压缩前级真空泵，有T系列，以及三级设计的DIVAC1.4HV3和3.8HV3。所有型号都确保了无油的前级真空。采用三级设计，可在较低压强范围内提供更高抽速，因此非常适合用作涡轮分子泵的前级真空泵。所有型号泵同样也适合在普通低中真空应用中抽送洁净介质。特点：干式压缩，无油并且无烃；可配用于莱宝真空的涡轮分子泵Turbovac；极限压强低；进气口为ISO-KF法兰；电缆、开关（...
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DIVAC0.8T干式压缩前级真空泵，有T系列，以及三级设计的DIVAC1.4HV3和3.8HV3。所有型号都确保了无油的前级真空。采用三级设计，可在较低压强范围内提供更高抽速，因此非常适合用作涡轮分子泵的前级真空泵。所有型号泵同样也适合在普通低中真空应用中抽送洁净介质。特点：干式压缩，无油并且无烃；可配用于莱宝真空的涡轮分子泵Turbovac；极限压强低；进气口为ISO-KF法兰；电...
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该模型采用旋转、拉伸、镜像和阵列等简单特征设计。包含4种进出口不同方位模型。分别为：上进上出；上进侧出；侧进上出；侧进侧出。该内部泵体采用无密封元件的组装，部件间进行销接，从而确保便于拆卸和重新组装。从D4B到D25B型号的所有泵都配备了单相或三相电机。D40B-65B型号配备了三相电机。泵转子和电机采用弹性联轴器连接。该型泵水蒸气容许压强高；1000mbar下能持续运行；内置油泵，强制润滑；...
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该模型采用旋转、拉伸、镜像和阵列等简单特征设计。包含4种进出口不同方位模型。分别为：上进上出；上进侧出；侧进上出；侧进侧出。该内部泵体采用无密封元件的组装，部件间进行销接，从而确保便于拆卸和重新组装。从D4B到D25B型号的所有泵都配备了单相或三相电机。D40B-65B型号配备了三相电机。泵转子和电机采用弹性联轴器连接。该型泵水蒸气容许压强高；1000mbar下能持续运行；内置油泵，强制润滑；...
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该电磁阀专门开发用于无内置防返油阀的旋片真空泵。SECUVAC安全阀保护真空系统以防发生断电时通过前级泵意外放气，它确保了真空系统保持密封，直到前级泵重新启动抽空。优点：二合一阀门功能：快速关闭的高真空隔离阀，用于使真空室或喷气泵（例如，扩散泵）与前级泵隔离；用于阀室放气并因此使泵（前级泵）放气的破空阀；在断电时立即关闭；只有当进气管抽真空后，才能打开；真空室延时隔离并且使真空泵放气。...
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该模型采用旋转、拉伸、镜像和阵列等简单特征设计。TRIVACT是新型双级油封式旋片真空泵，结构紧凑坚固，莱宝真空全新开发抽速为4m3/h-60m3/h抽速的真空泵，TRIVACT全系列真空泵及其各种附件特别为广泛的工业应用而设计。产品适用性强，新型防返油设计，双重保护，内部泵体采用无密封元件的组装，便于拆卸和重新装配，维修方便。D4T到D30T型号的所有泵还都配备了单相或三相电机。
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SOGEVAC泵属于油封旋片泵。泵油注入泵腔用于密封、润滑和冷却，泵油在油箱回收并过滤（若需要）。润滑系统在高进气口压强（最高1000mbar，绝对压强）下可持续运行，SOGEVAC泵在大多数粗真空应用都可以使用（有些情况需要增加附件）。泵排放的工艺气体携带着油在油箱中进行初步分离，然后，再经过排气过滤器过滤，细油雾被过滤器截留。如此过滤的油被收集在油箱内，然后重新供应给泵。充分优化的分离系统，考...
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DIVAC干式压缩前级真空泵，有T系列，以及三级设计的DIVAC1.4HV3和3.8HV3。所有型号都确保了无油的前级真空。采用三级设计，可在较低压强范围内提供更高抽速，因此非常适合用作涡轮分子泵的前级真空泵。所有型号泵同样也适合在普通低中真空应用中抽送洁净介质。特点：干式压缩，无油并且无烃；可配用于莱宝真空的涡轮分子泵Turbovac；极限压强低；进气口为ISO-KF法兰；电缆、开关（...
