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COOLVAC10000iCL低温泵的工作范围10E-3到≤10E-11mbar(0.75x10E-3到≤0.75x10E-11托)属于气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空,冷表面(低温板)必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。莱宝公司生产用制冷机冷却低温泵。低温泵...
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