上传于:2023-11-14 09:03:34
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PVD系列真空泵为双级真空泵,泵体小而坚固,极限压力低,运转时的振动、噪音小。另外,由于装有气镇阀,对水蒸气等冷凝性气体进行排气过程中发挥作用。二级旋片式PVD真空泵由两个工作室组成。两室前后串联,同向等速旋转,Ⅱ室是Ⅰ室的前级,Ⅱ室是低真空级,Ⅰ室是较高真空级。被抽气体由进气口进入Ⅰ室。当进入气体压力较高时,气体经Ⅰ室压缩、压强急增,被压缩的气体除经通道进入Ⅱ室外,还能推开...

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