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薄膜材料与器件课程论文

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近年来,随着铁电薄膜制备技术的发展,其应用领域不断扩大。文章介绍了铁电薄膜新研究进展,对目前最常用的几种主要制备方法进行了评述,重点分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点。并指出存在的问题及其发展方向。

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