近年来,随着铁电薄膜制备技术的发展,其应用领域不断扩大。文章介绍了铁电薄膜新研究进展,对目前最常用的几种主要制备方法进行了评述,重点分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点。并指出存在的问题及其发展方向。
CAD图例符号,主要内容有:接近和接触敏感器件符号、机电式有或无继电器的操作器件符号、电动机气动器的方框符号、过渡触点符号及开关符号等