硅烷废气设计(4000风量)

光伏电板生产过程中,PECVD工艺,该工艺产生的SiH4和NH3废气经过收集,由管道输送到硅烷燃烧塔,经过硅烷燃烧塔初级燃烧处理产生Si02和H2O再由管道和NH3进入喷淋塔,进行喷淋吸收处理,喷淋液中添加酸(HCL)同时塔内装有填料,增加与气体的接触面就,使气体与液滴充分接触分离,达到完全净化效果。达标的气体通过烟囱高空排放...

上传人: 上传时间:2023-10-07 09:56:34 文档格式:dwg 收藏数:0 页数: 0 评论数: 0
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