上传于:2023-12-12 08:59:43
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设备由盒站单元、匀胶单元、机械人单元、对中单元、热盘单元、排管系统、电气控制系统组成。匀胶单元是在芯片表面均匀涂布光刻胶的单元。主要由旋转电机、扫描臂、加热吸盘、喷嘴、收集杯、防溅杯和升降支架组成,是该设备的核心单元。ROBOT单元可实现芯片在各单元之间的传输功能。机器人附带有陶瓷或铝材质的手指,传送芯片时利用真空吸附固定芯片CA单元,该单元是为了保证每次送入工艺单元的芯片都位于吸盘的中心,故...

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