上传于:2023-12-12 09:02:22
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单片湿法刻蚀设备,能适应HF,HCL,H3PO4等多种刻蚀液,可刻蚀金属有Gr、Ni、Ti、Cu、Au等。本设备工作过程中由摆臂系统旋转交替喷液,多层Cup结构可实现不同刻蚀液的分类排放与回收。专业的工艺腔体结构,在刻蚀电镀或溅射形成的金属膜的前提下,既能保证刻蚀的均匀性、刻蚀率,还可以保证各种化学品的使用安全性。本设备能满足纵向刻蚀深度尺寸较大,横向刻蚀深度精度高的工艺要求,在刻蚀工艺完成后,晶...

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