上传于:2023-12-26 08:59:20
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本文从光的传播和偏振谈起,介绍了椭圆偏振光谱测量的原理,详细说明了旋转偏振器型椭偏仪的光学系统配置和工作原理,并用穆勒矩阵对旋转偏振器型椭偏仪的光路系统模型进行了详细推导。阐释了变入射角椭偏测量的重要性,并分析总结了现有椭偏仪变入射角结构设计方案的优缺点,针对现有椭偏仪变角结构的不足,设计、改进了一种新的椭偏仪变入射角机构。这种机构的左右两臂由丝杆螺母副传递动力进行摆动,丝杆螺母由电机驱动。这种设...

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