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薄膜是一种较特殊的物质形态,其在厚度这一特定方向上尺寸较小,仅 是微观可测的物理量,并且在厚度方向上由于表面、界面的存在,使物质的连续性发生中断,由此使得薄膜材料产生了与块状材料具有不同的性能。也可以解释为,由于成膜的过程中晶体取向、晶粒大小
偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究-图一
偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究-图二
偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究-图三
偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究-图四
偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究-图五
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