上传于:2023-12-29 09:21:04
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光栅光刻镜头是光刻系统的重要组成部分。目前国内外大多数传统透镜如厚度较厚,也会存在较为严重的色差,透镜的有效焦距过短,较厚的透镜也会占据较大的空间等问题,菲涅尔透则不同,菲涅尔透镜是去掉了直线传播的部分,只保留发生折射的曲面,省下了大量材料,与传统的透镜相比,具有体积比传统透镜小,重量也比传统透镜轻,而且还结构紧凑的优点,同时它还拥有着不逊于其它透镜的良好聚光性和成像性能。用菲涅尔透镜代替原有透镜...

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