上传于:2023-10-17 14:37:27
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光刻机用圆晶片的涂胶装置,包括外筒、内筒、锥筒、旋转筒、伸缩筒、吸盘、顶升执行单元和旋转执行单元,内筒设在外筒内,锥筒同轴转动的设置在外筒和内筒之间,锥筒的内锥面自外筒的顶端延伸至内筒的顶端,旋转筒同轴转动的设在内筒中,伸缩筒沿轴向滑动设置在旋转筒中,吸盘同轴设置在旋转筒的顶端,顶升执行单元设置在内筒的底部,旋转执行单元设置在外筒外,本申请通过锥筒对放置其内锥面的晶圆片进行旋转,待锥筒停止转动时,...

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