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文 章介 绍 了一 种超纯 水制造 系统。该 系统分三 部分:第 一部 分是将 原水 ( 井 水 ) 处 理为 纯水 ,贮于槽 ( 3 0 米2) 中供第二、三 部 分共 用,其流 程 为井水 ”前 处理 , 反 渗 透 ( 1 0米“/ 小 时 ) 。脱 碳酸 塔。离 子交 换、后 过 滤、 纯水 贮槽。第二 部分 的流 程为纯水 贮槽 '高 纯水处理 '
用于大规模集成电路制造中的超纯水-图一
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