本图为上海某半导体公司空调设计图。包括: 3F干盘管配管平面图,温度室静压干盘施工图,2号建筑3F新风管平面图,竣工BA系统桥架,RAUFCU施工图,MAU2-3-1竣工参考图,MAU2-3-2竣工参考图,M5-02竣工图,3F-PARTITION图。
10m3/h超纯水生产系统 (MMF+ACF+SF +1级RO反渗透+2级EDI电再生除盐工艺+抛光混床)