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采简而言之,薄膜是由离子、原子或分子的沉积过程形成的二维材料。薄膜的一个重要参数是厚度,厚度决定薄膜性能,质量。通常膜厚小于数十微米,一般在1um一下。薄膜材料及相关薄膜器件兴起于20世纪60年代。是新理论、高技术高度结晶的产物。
薄膜技术的使用和生产-图一
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