上传于:2019-06-11 20:06:26
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利用表面微加工工艺设计了一种双悬臂梁支撑的欧姆接触式 MEMS开关,开关的材料为 Au。通 过对开关驱动电压的理论分析得出,悬臂梁的刚度越低,下拉电压就会越小 ;又因为刚度与悬臂梁厚度的 三次方呈 比例,所以,降低刚度最有效的办法就是减少梁的厚度。通过对开关的性能仿真发现:开关的闭 合电压为44V;触点的接触力为22.45IxN;谐振频率为25.5kHz。开关闭合时,触点接触后并非立即稳定 , 而是要 弹跳数 次后才趋于稳定 ,此现 象增 加了开关从 闭合 到稳定 的时 间。驱 动 电压 为 5O,6OV时 开关 的 弹跳时间分别为 174.94,66.84 s,由此可见 ,通过适当增加电压可有效降低开关时间和由闭合到稳定的 时间

欧姆接触 式 RFMEMS开关设计与仿真-图一

欧姆接触 式 RFMEMS开关设计与仿真-图一

欧姆接触 式 RFMEMS开关设计与仿真-图二

欧姆接触 式 RFMEMS开关设计与仿真-图二

欧姆接触 式 RFMEMS开关设计与仿真-图三

欧姆接触 式 RFMEMS开关设计与仿真-图三

欧姆接触 式 RFMEMS开关设计与仿真-图四

欧姆接触 式 RFMEMS开关设计与仿真-图四

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