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为研究微谐振器在MEMS引信中的振动现象,建立系统固有频率和振型的方程。通过有限元仿真软件ANSYS对微谐振器进行模态仿真分析, 包括基于分块Lanczos法的模态分析、软件仿真、结构尺寸对固有频率影响等,得到微谐振器的谐振频率和等效质量等重要参数,以及不同的结构尺寸其的影响。
ANSYS软件应用之微谐振器模态分析-图一
ANSYS软件应用之微谐振器模态分析-图二
ANSYS软件应用之微谐振器模态分析-图三
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