上传于:2023-10-17 14:45:38
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干法刻蚀放电装置装主要有放电体罩、冷却器、透光罩、加热盘及其他部件组成。利用等离子体放电来去除硅片表面的材料,可以延长上部电极的清扫时间和使用寿命,加快刻蚀速率。...

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