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用于较高真空的罗茨泵不能直接排大气,如果直接排大气会造成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太大,从而使罗茨真空泵过载,如单纯加在罗茨真空泵站电机功率又会造成罗茨真空泵过热以致罗茨真空泵转子之间的微小间隙很快因热膨胀而卡死。为保证罗茨真空泵能达到较高真空必须保证罗茨真空泵转子之间的间隙。所以罗茨真空泵使用时必须设有前级泵,用前级泵将系统内压力抽至一定范围内时再启动罗茨真空泵。本设计以旋片泵为前级泵,两台泵...

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