上传于:2023-11-01 09:19:59
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磁控溅射靶材包括背板、绑定层、和靶材本体;背板内设置有冷却构件;绑定层由连接碳板,螺栓构成,用于绑定靶材本体和连接各部件;靶材本体由靶材、铜背板、导磁片、磁靴、磁钢、极座和磁轭构成。...

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