上传于:2023-11-27 13:40:17
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超高真空直线驱动器的直线驱动和真空密封同样靠波纹管来实现。波纹管的两端分别和移动法兰与真空法兰焊接。移动法兰在真空一侧和驱动轴连接,另一侧设计成螺纹构造。移动法兰和把手之间的螺纹构造相匹配,旋转把手,则波纹管作直线运动,从而带动驱动轴的直线运动。真空法兰内部安装直线轴承,可实现驱动轴的运动准直性。...

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