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镀膜机中部放置两个柱弧源,工件环绕两弧源并做定轴转动,环绕工件的同心圆上再在直径两端分别放置两个带有屏蔽罩的柱弧源。清洗时中部和最外圈的三对弧源每对互为阴阳极,阳极弧光电子流把通入的氩气电离清洗工件,阴极则清洗自身靶面;镀膜时两个柱弧源则和最外圈的弧源一起镀膜。这样可以使作用均匀,并能通过电磁场控制等离子体的分布。...
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