上传于:2023-12-15 09:22:05
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双面精研机能避免由夹具的粘结误差及薄片工件两面的应力差引双面精研机结构原理图双面精研机结构原理图起的变形问题。双面研磨的结构简图如右图所示。研磨的工件放在工件行星轮内,上下均有研磨盘。研磨垫固定在上研磨盘和下研磨盘的表面,被加工晶片放在由中心齿轮和内齿圈组成的差动轮系内。研磨压力则由气缸加压上研磨盘实现。为减少研磨时晶片所受的作用力,一般使上研磨盘和下研磨盘分别以大小相等、方向相反的角...

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