使用粗过滤+精密过滤的方式分离含硅废水中的悬浮物,处理后的水可直接作为超纯水的进水,反复循环回用于生产线。
本图为上海某半导体公司空调设计图。包括: 3F干盘管配管平面图,温度室静压干盘施工图,2号建筑3F新风管平面图,竣工BA系统桥架,RAUFCU施工图,MAU2-3-1竣工参考图,MAU2-3-2竣工参考图,M5-02竣工图,3F-PARTITION图。