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一款硅片退火炉抽气管道3D模型分享,SolidWorks原档文件,可编辑修改,包含参数。其详细结构见图纸。该抽气管道用于硅片高温退火炉真空抽气及排气,图纸包含压力计、阀门、管夹等零部件。结构布置紧凑合理,欢迎下载学习。...
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