上传于:2023-10-23 09:03:17
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被搬运物 300mm硅片晶圆 位置确定所需时间 定位晶圆缺口2.5sec(不实行从新夹持动作) 位置精度 晶圆中心:±0.3mm以内 槽口定位:±0.3度以内 传感器 对射式LED传感器 洁净度 0.1m/cfClass1(驱动结构内部独立排气条件下) 动力 2轴使用2相步进电机 电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部 厂务 电源:DC24V±10%2A 适用于半导体...

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