扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。...
本资料为，vs1手车式电气原理图(无闭锁)，其包含的内容为，电机回路、合闸回路、分闸回路等，内容详实，可供设计师下载参考。
本资料为比较齐全的加料机电气控制原理图纸，其包含的内容为 定量给料机电气柜面板开孔图等，比较齐全，内容详实，可供设计师下载参考。
