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SST系列倾角传感器成功通过近2年的试验,并半导体光刻设备被认可。 500nm/650nm工艺器件量产的i/g-线步进投影光刻机设备书属于精密设备,对传感器的精度要求相当高,包括重复性、稳定性、可靠性等。SST倾角传感器的成功应用,表明辉格科技在倾角传感器的技术能力达到一个新的高度。
SST传感器应用于nm级半导体光刻机 -图一
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