上传于:2023-10-30 09:09:47
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1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过锚点质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘锚点与质子流量计安装在同一面板上。3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐...

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