上传于:2023-11-09 09:07:24
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薄片厚度测量平台,是在薄片磨削过程中的厚度测量,观测是否达到理想厚度。针对当前薄片厚度的尺寸,提出的测量方案如图3所示,结合彩色光轴传感原理的测量方式,能够精确非接触测量透明物体的位置及位移变化,最终实现测量精度可达0.5μm以内。...

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