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工程资料库 \ 晶圆匀胶甩干机管路排布和电气原理图

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晶圆匀胶甩干机管路排布和电气原理图

上传于：2023-12-12 08:59:43

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5分

该系列晶圆甩干机系高洁净度的冲洗旋干设备。主要系应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干。设备具有单工作室、双工作室两种结构。　主要技术特点：系统采用高性能可编程控制器进行逻辑控制。结构采用净化处理技术。去离子水电阻率监控。防静电控制。氮气温度可控。腔体温度可控。转轴部位氮气密封。转子定位。故障诊断、显示及报警。主要技术规格：工作室...

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