该系列晶圆甩干机系高洁净度的冲洗旋干设备。主要系应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干。设备具有单工作室、双工作室两种结构。 主要技术特点：系统采用高性能可编程控制器进行逻辑控制。结构采用净化处理技术。去离子水电阻率监控。防静电控制。氮气温度可控。腔体温度可控。转轴部位氮气密封。转子定位。故障诊断、显示及报警。主要技术规格：工作室...
本资料为比较齐全的加料机电气控制原理图纸，其包含的内容为 定量给料机电气柜面板开孔图等，比较齐全，内容详实，可供设计师下载参考。
