上传于:2023-12-21 09:04:34
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晶圆清洗装置提篮机械部件,采用谐波减速机来驱动双侧夹爪,适应4-8寸晶圆篮的夹取,四爪带有确认传感器,防止晶圆篮脱落,图纸选用两种谐波减速机完成设计。solidworks2019文件格式,参数可编辑。...

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