刻蚀机台主要由刻蚀单元、化学品供应单元、机械手单元、控制系统以及主机结构等几部分组成。本设备的控制系统由工控机组成。采用大屏幕触摸屏，动态画面人机交互，显示设备运行过程中各工艺功能执行情况；工艺参数数字化检测控制，分等级、严重紧急情况、超限报警；可自由编制、修改、编辑、储存、调用工艺程序；故障、生产工艺参数、产量记录等可长期保存备查；故障提示导寻，操作简便，维修便利。设备在处理wafer时，设置方...
本资料为：某美术馆室内照明排布CAD工程图纸，内容包括：1至5层照明平面图；屋顶照明平面图；楼梯照明平面图及立体图等，内容详实，可供参考。
