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刻蚀机台主要由刻蚀单元、化学品供应单元、机械手单元、控制系统以及主机结构等几部分组成。本设备的控制系统由工控机组成。采用大屏幕触摸屏,动态画面人机交互,显示设备运行过程中各工艺功能执行情况;工艺参数数字化检测控制,分等级、严重紧急情况、超限报警;可自由编制、修改、编辑、储存、调用工艺程序;故障、生产工艺参数、产量记录等可长期保存备查;故障提示导寻,操作简便,维修便利。设备在处理wafer时,设置方...
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